정전기 제거기. 이오나이저는 정전 파괴나 기기의 오동작 등의 문제의 원인이 되는 정전기를 이온으로 중화하고 제전하는 장치입니다.
눈에 보이지 않는 정전기를 제전하고, 반도체 웨이퍼나 워크에 티끌, 먼지가 부착되지 않게 해주며, 피더의 정체를 방지해 줄 수 있습니다.
이오나이저는 이온을 발생시키는 방식에 따라 AC 방식과 DC 방식으로 나뉩니다.
AC 방식
교류 전압을 방전침에 인가하여 +와 –이온을 교대로 발생시킵니다.
AC 방식은 이온을 발생시키는 주파수에 따라 고주파 방식(수 kHZ)와 저주파 방식(수십 kHZ)으로 나뉩니다.
DC 방식
방전침에 직류 전압을 인가하여 + 또는 – 중 어느 한쪽의 이온만을 발생시킵니다.
DC 방식은 AC 방식과 같은 이온 발생 주기가 없이 +이온과 –이온이 항상 생성되므로 이온양이 많으며 따라서 제전 속도가 빨라집니다.
고주파 AC 방식
기존 저주파 방식이나 DC 방식과 달리 +이온과 –이온을 효율적으로 발생시켜 이온 밀도가 높은 안정된 환경을 신속하게 만들어 낼 수 있습니다.
따라서 설정 거리에 좌우되지 않는 안정된 이온 밸런스와 뛰어난 제전 능력을 실현했습니다.
약 68,000Hz의 고주파로 코로나 방전을 하므로 +이온 · -이온을 교대로 고속으로 방출할 수 있습니다.
다른 방식처럼 급격하게 이온을 방출하지 않으므로 국부적으로 다르게 대전되는 절연체의 제전도 부분적인 역대전을 조장하지 않아 전자 디바이스가 파괴되지 않습니다.
펄스 AC 방식
펄스 AC 방식이란, 1개의 방전 침에 직류 고전압을 교대로 인가하는 방식입니다.
제전 시간이 빠르고, 무풍(airless)으로 제전이 가능하다는 특징이 있습니다.
단점으로는 변동 전압으로 인한 제전 불균형이 생기기 쉬우며, 고주파 AC 방식보다 이온 밸런스가 떨어집니다.♣
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